以典型的5000t/d水泥熟料生产线所配套的余热发电机组为例，通常余热发电技术的热力系统采用复合闪蒸技术。整个热力系统工艺流程是一个完整的水汽循环利用过程。在生产线窑尾、窑头各设置一台余热锅炉，用于与废气的热量交换，热交换后锅炉产生的过热蒸汽导入汽轮机做功，汽轮机带动发电机向外输出电能。做过功后的蒸汽经凝汽器冷凝成凝结水，经凝结水泵与闪蒸器出水汇合，通过锅炉给水泵增压进入AQC锅炉省煤器进行加热，经省煤器加热后的高温水分三路分别送到AQC炉汽包、PH炉汽包和闪蒸器内。

　　进入两台锅炉汽包内的高温水在锅炉内循环受热，最终产生过热蒸汽，两路过热蒸汽汇集后进入汽轮机。进入闪蒸器的高温水根据闪蒸汽化原理（高温高压水进入低压空间后会部分瞬间汽化）产生一定压力的饱和蒸汽进入汽轮机后级辅助做功作用。

　　做过功后的蒸汽经过凝汽器冷凝后形成凝结水重新参与系统循环。循环过程中消耗掉的水由纯水装置制取出的纯水补充到系统中。